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本实用新型公开了一种单晶炉,包括炉体、坩埚件、导流筒、套设于炉体外侧的加热件、具有空腔的气体分配器以及籽晶杆,炉体设置有出气口;坩埚件设置于炉体内;导流筒设置于炉体内且套设于坩埚件的外侧且与坩埚件之间并具有间隙;气体分配器设置于炉体内,气体分配器设置有杆孔以及分别与空腔连通的进气口与若干气孔;籽晶杆一端密封穿过杆孔,另一端连接有籽晶且竖直设置于坩埚件的上方。本实用新型通过气孔实现对氢气的分配以及导流,使得氢气能够在若干气孔的分配引导下均匀快速地流入炉体内,到达坩埚件内的锗料表面并沿着坩埚件的内壁
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212610982 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202020899111.1
(22)申请日 2020.05.25
(73)专利权人 广
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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