带电粒子束装置、物镜模块以及电极装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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带电粒子束装置、物镜模块以及电极装置.pdf

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描述了一种用于检查样本的带电粒子束装置。所述带电粒子束装置包括：束源，所述束源用于发射带电粒子束；电极，所述电极用于影响所述带电粒子束；以及阻尼单元，所述阻尼单元设在所述电极上以用于抑制所述电极的振动。此外，描述了一种具有电极的物镜模块，其中阻尼单元设在所述电极上。此外，描述了一种电极装置，其中质量阻尼器安装在所述电极装置的盘状电极主体上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212625479 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020876612.8 H01J 37/147 (2006.01)