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本实用新型公开的一种无机膜多级气体分离的装置,步骤:S1、在预处理单元对原料气体进行预处理。S2、预处理过的原料气进入多级膜分离组件进行分离处理,渗透气进入下级组件,渗余气回流继续完成分离。S3、在第一级组件渗余侧和最后一级组件渗透侧采集气体产品并回收利用。装置中包括预处理模块、单级膜组件、气泵、质量流量控制器和背压阀。原料预处理后经质量流量控制器进入多级膜组件,背压阀控制第一级组件渗余侧压力,将多个组件通过管线串联起来,每一级渗透气作为原料气进入下一级,第一级渗余气接背压阀控制顶部采出,其余每
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212594872 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202020952186.1 C01B 23/00 (2006.01)
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