一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机.pdf

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本实用新型涉及离子镀膜机技术领域，尤其为一种具有行星轮夹具结构的离子溅射镀膜机，包括真空外壳，所述真空外壳的底端内侧固定连接有固定台，所述固定台的一端内侧固定连接有基板皮带式运送装置，所述基板皮带式运送装置的一端设置有运送垫块，所述运送垫块的顶端外侧接触连接有镀膜基板，所述固定台的顶端外侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩主轴末端固定连接有电机固定块，所述电机固定块的一端内侧固定连接有第一伺服电机，所述第一伺服电机的主轴末端固定连接有转动连接杆，本实用新型中，通过设置的基板皮带式运送装置

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212610880 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021230739.9 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人杰莱特（苏州）精密仪器有限公司