一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置.pdf

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本实用新型公开了一种用于半导体抛光的输送管路清洗装置，其包括：推车本体，底部设有万向轮，推车本体的内部上方和下方分别设有管路容置腔和清洗桶容置腔；清洗桶，放置在清洗桶容置腔内，清洗桶包括依次并排放置的第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶，第一纯水桶、KOH桶和第二纯水桶的底部均经液位传感器和气动阀门与电动水泵的入口相连接，电动水泵的出口经连接管与待清洗的输送管路相连接，其中，KOH桶内设置有KOH溶液；纯水管路，一端与外部的纯水供水管路相连接，纯水管路的另一端穿过管路容置腔后分别与第一纯水桶、KOH

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212597655 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020914632.X (22)申请日 2020.05.27 (73)专利权人上海裕诗实业有限公司