一种高效化学蚀刻槽.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种高效化学蚀刻槽.pdf

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本实用新型公开了一种高效化学蚀刻槽，包括底板、溶液槽，喷淋壳体，所述底板上表面固定连接有溶液槽，且所述底板中部开设通孔，所述底板上部设置有网孔板，所述网孔板与溶液槽内壁固定连接，所述溶液槽外壁上固定连接有喷淋壳体，所述喷淋壳体位于溶液槽远离底板一端，所述喷壳体内壁对称固定连接有喷淋管，所述喷淋管上等距固定连接有喷淋头，所述底板下边表面固定连接有固定座，所述固定座内部固定连接有快排阀，且快排阀与底板上通孔同心，所述溶液槽一侧面上对称开设有腰形孔，所述溶液槽开设有腰形孔的一侧面外壁上固定连接有无杆气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212625495 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020971120.7 (22)申请日 2020.06.01 (73)专利权人苏州昂科微电子技术有限公司