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本实用新型公开了一种用于微导二合一工艺设备的加热装置,包括多根直形辅助加热灯管;多根辅助加热灯管并列设在石墨舟下方的炉管内底部。在炉管底部增加直形辅助加热灯管,多根直形辅助加热灯管并列设置,同时加热,使石墨舟中间加热更快,从而实现中间温度和两侧温度一致,更容易稳温,从而优化镀膜均匀性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212625494 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202020886152.7
(22)申请日 2020.05.22
(73)专利权人 江苏日托光伏科技股份有限公司
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