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本实用新型公开了一种双泵500管径的升华仪，包括十温区加热炉、柜体、进气端法兰管、观察口、质量流量计、温控器、真空控制器、抽气端法兰管、触摸屏、散热风扇、第一机械泵、第一气动挡板阀、第一分子泵、第一电离规、第一双层冷阱、第一粗抽管道、第一细抽管道、第一插板阀、第二气动挡板阀、第三气动挡板阀、第一电阻规、进气阀、石英管、第四气动挡板阀、第二电阻规、第五气动挡板阀、第二插板阀、第二双层冷阱、第二电离规、第二分子泵、第二机械泵、第六气动挡板阀、第二粗抽管道、第二细抽管道、电动拉杆、第一热电偶、第二热电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212594082 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202020940351.1
(22)申请日 2020.05.29
(73)专利权人 安徽贝意克智能科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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