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本申请公开了一种半导体器件加工用摆臂结构,包括摆臂主体、伸缩节和限位件,伸缩节滑移连接在摆臂主体上,限位件设置在伸缩节和摆臂主体上,用于限定伸缩节在摆臂主体上移动的范围,吸嘴固定连接在伸缩节上。通过在摆臂上设置伸缩节,使得摆臂可以通过调节伸缩节的位置来改变整体长度,能够根据需要吸取的半导体器件的范围方便快捷的调节摆臂的长度,以改变摆臂的吸取范围,操作简便易行,利于实现半导体器件的吸取和移动。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218482209 U
(45)授权公告日 2023.02.14
(21)申请号 202222894013.0
(22)申请日 2022.11.01
(73)专利权人 佑光智能半导体科技(深圳)有限
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