一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统.pdf

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本实用新型涉及晶片线切割技术领域，尤其涉及一种晶片线切割泥浆过滤装置及其清洁控制系统，包括沉积缸，用于沉降泥浆碎渣，沉积缸设有泥浆出口；设置于沉积缸内的过滤组件，沉积缸通过过滤组件隔离形成内腔和外腔，泥浆出口、外腔和内腔依次连通，过滤组件包括至少一层过滤网，过滤网的网面与竖直方向倾斜设置；喷流管，喷流管开设有喷流孔，喷流孔容纳于内腔以用于向内腔注入泥浆。本实用新型有助于减小过滤网过滤的受力、磨损和过滤碎屑量，提高过滤网使用的寿命，实现泥浆的有效过滤，并提高泥浆过滤的效率，使过滤网在过滤过程中具有

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212594314 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020901308.4 C02F 11/00 (2006.01) (22)申请日 2