液体进料装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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液体进料装置.pdf

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一种液体进料装置，用于通过工艺气体来隔绝目标液体与空气接触，包括一或多个储液罐和至少一储气装置。每个该储液罐具有一储液腔和与该储液腔连通的一进料口，其中该储液腔用于储存该目标液体。该储气装置具有一体积可变的储气腔，用于储存该工艺气体，其中该储气装置的该储气腔连通于该储液罐的该储液腔，用于使该工艺气体在该可变储气装置和该储液罐之间流通，并提供需要的气压以使该储液罐内储存的该目标液体从相应的该进料口流出。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212617648 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020717944.1 C23C 16/455 (2006.01) (22)申请日