晶体生长提拉装置及晶体生长炉.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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晶体生长提拉装置及晶体生长炉.pdf

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本申请涉及晶体制造技术领域，尤其是涉及一种晶体生长提拉装置及晶体生长炉，晶体生长提拉装置包括：旋转机构，旋转机构的输出端连接有杆构件；称重机构，设置于旋转机构的固定部；称重机构包括两个或更多个称重构件。本申请提供的晶体生长提拉装置显著提高了晶体重量测量结果的准确性，并且能够较大程度上规避晶体旋转时产生的切向力对测量结果产生的影响，并且测量结果作为控制信息，能够避免对晶体在自动化生长产生影响，从而确保晶体的生长质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533194 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202021383410.6 (22)申请日 2020.07.14 (73)专利权人成都东骏激光股份有限公司