一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具.pdf

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本实用新型公开了一种用于CWDM单粒芯片清洗夹具，涉及半导体清洗设备技术领域。包括：底座，所述底座上表面开设有用于放置芯片的多个盲孔，每个所述盲孔的底部开设有通孔，每个盲孔底部与相应通孔的连通处沿内壁周向设有倾斜向上的斜面；每个所述通孔的下端口直径大于上端口直径；手持杆，设置于所述底座上。本实用新型通过在每个盲孔与其底部连通的通孔之间沿内周向设有斜面，能够有效将CWDM单粒芯片表面清洗后的残留快速的导入通孔内，并排至底座下方，从而避免CWDM单粒芯片表面残留的清洗液，对CWDM单粒芯片表面再次污

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212517136 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202120001240.9 (22)申请日 2021.01.04 (73)专利权人西安奇芯光电科技有限公司