具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器.pdfVIP

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2023-02-12 发布于四川
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具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器.pdf

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本实用新型提供一种具有多平行环形惠斯通电桥的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层，压力敏感单元包括应力敏感膜、多个压敏电阻以及多根引线，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔；应力敏感膜设置在衬底的第一表面上，多个压敏电阻设置在应力敏感膜背离衬底的一侧，并且，多个压敏电阻平行间隔设置，多个压敏电阻通过多根引线电连接形成多平行环形惠斯通电桥；绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧，绝缘钝化层上设置有贯穿其厚度的多个金属化过孔；导线层设置在绝缘钝化层背离衬底的一侧，导

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212458728 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021310407.1 (22)申请日 2020.07.07 (73)专利权人南京高华科技股份有限公司