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本实用新型公开了基于电磁双控的超精密机床高精度加工装置及加工机床,其技术方案要点是:运动平台包括运动部件以及与运动部件活动连接的支撑部件;运动部件设有磁控进给部件和电磁转化部件,电磁转化部件与磁控进给部件的输出端连接;电磁转化部件与支撑部件之间的接触面为平行面,磁控进给部件控制电磁转化部件的移动方向与接触面垂直设置;磁控进给部件、电磁转化部件的信号输入端均与控制器的信号输出端连接,磁控进给部件、电磁转化部件依次响应于运动平台的精加工反馈信号。在机床加工的最后一道工序时,在调整好进给量之后,通过电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212444278 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202021914567.7
(22)申请日 2020.09.04
(73)专利权人 中国工程物理研究院机械制造工
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