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本实用新型涉及一种原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置,其包括手套箱、滴胶器、工作台和匀胶机,其中,滴胶器被设置在手套箱的顶部以将溶液滴加到匀胶机上完成旋涂操作,匀胶机通过工作台被可移动地设置于手套箱的内部,手套箱的相对侧面分别布置有用于允许同步辐射单色X射线光束线照进手套箱的内部的铍视窗和用于采集X射线信号的开普顿薄膜视窗。根据本实用新型的原位成膜的同步辐射掠入射X射线观测装置,可在同步辐射X射线各光束线站进行原位实验表征。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212433019 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021069157.7
(22)申请日 2020.06.11
(73)专利权人 中国科学院上海应用物理研究所
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