GB/T 33523.604-2022产品几何技术规范(GPS)　表面结构　区域法　第604部分：非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性.pdf

ICS17.040.20 CCSJ04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT33523.604 2022ISO25178-6042013 产品几何技术规范( ) GPS 表面结构 区域法 : ( ) 第604部分 非接触 相干扫描干涉 式 仪器的标称特性 ( )— : — GeometricalroductsecificationsGPS SurfacetextureAreal p p : ( Part604Nominalcharacteristicsofnon-contactcoherencescanning ) interferometr instruments y ( : , ) ISO25178-6042013IDT 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT33523.604 2022ISO25178-6042013 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 3.1 与区域表面结构测量方法相关的术语和定义 …………………………………………………… 1 与 , 轴扫描系统相关的术语和定义…………………………………………………………… 3.2 XY 5 3.3 与光学系统有关的术语和定义 …………………………………………………………………… 7 3.4 与工件光学特性有关的术语和定义 ……………………………………………………………… 8 3.5 相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义 ……………………………………………………… 9 4 影响量的描述………………………………