GB/T 25915.14-2022洁净室及相关受控环境　第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf

ICS13.040.35 CCSC70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.14 2022ISO14644-142016 洁净室及相关受控环境 : 第 部分 按粒子浓度评估设备适用性 14 — : Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments Part14 Assessmentofsuitabilitforuseofeuimentb airborne articleconcentration y q p y p ( : , ) ISO14644-142016IDT 2022-12-30发布 2023-07-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT25915.14 2022ISO14644-142016 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 评估大纲 ………………………………………………………………………………………………… 2 5 目视检查 ………………………………………………………………………………………………… 3 6 悬浮粒子浓度测量的适用性评估 ……………………………………………………………………… 3 7 记录 ……………………………………………………………………………………………………… 8 8 设备的洁净室适用性的表述…………………………………………………………………………… 10 ( ) …………………………………………………………………… 附录 资料性 测试数据处理示例 A 11 ( ) ……………………………………………………………………………… 附录 资料性 可选测试 B 15 参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 17 Ⅰ