电镀装置及其阳极组件.pdfVIP

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2023-02-04 发布于四川
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电镀装置及其阳极组件.pdf

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本实用新型公开了一种电镀装置及其阳极组件，阳极工件包括：互不导通的若干块第一阳极本体，若干块第一阳极本体互相套设且同轴，其中位于中心的第一阳极本体为圆柱体，其他的第一阳极本体为环状结构；互不导通的若干块第二阳极本体，若干块第二阳极本体互相套设且同轴，若干块第二阳极本体均为环状结构，其中位于最内环的第二阳极本体套设于位于最外环的环状结构的第一阳极本体，并且互不导通，第一阳极本体的投影面积小于第二阳极本体的投影面积。本实用新型可对一次或多次电镀后电镀层不均匀的情况进行修正，尤其是针对尺寸较小的电镀工

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212357443 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202020718394.5 (22)申请日 2020.04.30 (73)专利权人新阳硅密（上海）半导体技术有限