工业用硅烷-氮气混合气体技术要求.pdf

工业用混合气体 硅烷/氮气 1 范围 本文件描述了工业用氮中硅烷混合气体（以下简称“混合气体”）的制备方法、试验方法，确立了 检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。 本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本 文件。 GB190 危险货物包装标志 GB/T4844 纯氦、高纯氦和超纯氦 GB/T5099（所有部分） 钢质无缝气瓶 GB/T5275.7 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器 GB/T5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分：电解法 GB/T6285 气体中微量氧的测定 电化学法 GB/T7144 气瓶颜色标志 GB/T8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T11640 铝合金无缝气瓶 GB/T14850 气体分析词汇 GB15258 化学品安全标签编写规定 GB/T15383 气瓶阀出气口连接型式和尺寸 GB/T15909 电子工业用气体 硅烷 GB/T16804 气瓶警示标签 GB/T28726 气体分析 氦离子气相色谱法 GB/T34525 气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定 GB/T34526 混合气体气瓶充装规定 GB/T34710.1 混合气体的分类 第1部分：有毒分类 GB/T34710.2 混合气体的分类 第2部分：腐蚀性分类 GB/T34710.3 混合气体的分类 第3部分：可燃性分类 GB/T38523 混合气体的制备 压力法 GB/T38527 校准混合气体技术通则 GB50646 特种气体系统工程技术标准 ISO19230 气体分析采样导则（Gasanalysis—Samplingguidelines） TSG23 气瓶安全技术规程 2 3 术语和定义 GB/T14850、GB/T38523中界定的术语和定义适用于本文件。 4 技术要求 4.1 原料气 4.1.1 硅烷 应符合GB/T15909的技术要求。 4.1.2 高纯氮、超纯氮 应符合GB/T8979中高纯氮、超纯氮的技术要求。 4.2 混合气体 应符合表1的规定。 表1 技术要求 技术指标 项目名称 一级 二级 硅烷（SiH ）含量（摩尔分数）/4 10-2 1.5～25.0 1.5～25.0 氮气（N ）含量（摩尔分数）/102 -2 98.5～75.0 98.5～75.0 （硅烷（SiH）+氮气(N)）含量（摩尔分数）/10-2 ≥99.5 ≥99.5 4 2 氧气（0) 含量（摩尔分数）/102 -6 ≤0.1 ≤3 一氧化碳(CO)含量（摩尔分数）/10-6 ≤0.1 ≤1 二氧化碳(CO)含量（摩尔分数）/10-6 ≤0.1 ≤1 2 甲烷(CH)4 含量（摩尔分数）/10-6 ≤0.1