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3 IM O 透明电极薄膜的实验研究 前一章模拟部分的结果表明，CZTSe 薄膜太阳能电池具有较大的潜力。下面两章将对 用于 CZTSe 薄膜太阳能电池的两种关键薄膜材料进行实验研究：用于电池 TCO 窗口层的 IM O 薄膜和用于吸收层的CZTSe 薄膜。 3.1 IM O 薄膜的研究现状和主要制备方法 TCO 层是薄膜太阳能电池中非常重要的组成部分，TCO 材料的性质直接影响着太阳能 电池的性能优劣。 目前，广泛应用于太阳能电池的TCO 材料主要有 ITO 和 AZO 等。作为 太阳能电池的窗口层，TCO 材料需要具有较低的
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