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3 AZO 薄膜的制备及其性能研究 本章对 AZO 透明导电薄膜的制备和性能的研究进行了描述和讨论。在薄膜的制备过 程中，工艺参数在很大程度上决定了所获制备薄膜的结构和光电性能。所以对工艺参数的 优化对提升薄膜性能有着最直接也是最重要的影响。而对已获得的薄膜进行结构上的优 化，也能在一定程度上优化薄膜的性能。所以实验中首先在不同的温度、功率和氩气流速 下，利用 RF 磁控溅射技术在玻璃和 PI衬底上分别制备出了AZO 透明导电薄膜，并对所 获得的薄膜进行性能分析，研究工艺参数对薄膜性能的影响。然后，将这些薄膜在腐蚀液
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