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泓域咨询/包头刻蚀设备项目可行性研究报告 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 第一章 行业发展分析 6 一、 离子束刻蚀 6 二、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 6 三、 等离子体刻蚀面临的问题 8 第二章 项目背景、必要性 9 一、 高密度等离子体刻蚀 9 二、 反应离子刻蚀 10 三、 强力推进招商引资 10 四、 项目实施的必要性 11 第三章 项目概述 13 一、 项目概述 13 二、 项目提出的理由 15 三、 项目总投资及资金构成 16 四、 资金筹措方案 16 五、 项目预期经济
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