传感器新技术介绍.pptxVIP

第十二章 传感器新技术;12.1 传感器集成化技术与集成传感器 12.2 微电子机械系统技术及传感器 12.3 传感器智能化技术与智能传感器 12.4 机器人传感及临场感技术 12.5 多传感器信息融合技术 12.6 传感器网络技术; 第12章 传感器新技术;12.1.1 传感器集成化的途径;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;（1）传感器与各种调节和补偿电路的集成;（2）传感器与信号放大和阻抗变换电路的集成;（3）传感器与信号数字化电路的集成;（4）多传感器的集成;（5）传感器与信号发送接收电路的集成;12.1.2 几种集成传感器原理;12.1.2 几种集成传感器原理;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;12.1.3 典型集成温度传感器实例;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;§12.1 传感器集成化技术与集成传感器;12.２.１ 概述;§12.2 微电子机械系统技术及传感器;几种MEMS传感器;MEMS传感器的优点;12.２.２ 典型的MEMS传感器;§12.2 微电子机械系统技术及传感器;§12.2 微电子机械系统技术及传感器;§12.2 微电子机械系统技术及传感器;单边支撑梁的悬臂梁结构 优点：高灵敏度 缺点：固有频率低，频响范围窄，且存在很大的横向灵敏度;同时具有支撑梁和谐振梁的对称悬臂梁结构 优点：满足方向性较高的要求，提供工艺兼容的便利条件;只具有谐振梁的对称悬臂梁结构 优点：四条谐振梁同时用作支撑作用而省去原来的支撑梁，从而增加了检测的灵敏度;微机械角速度传感器;当在静止驱动器上加上驱动电压时，质量块的内部动齿框架作沿着ｙ轴方向的振荡运动。如果一个外部的绕z轴的转动(输入信号Ω)作用到芯片上，质量块产生沿ｘ轴方向的哥氏力，且通过内支承梁转移到外框架上，外框架由两对支承梁固定并可沿ｘ轴方向运动，通过两对杠杆这个力被放大并传递到外框架两边的两个双端音叉谐振器(DETF)上。DETF上输出信号频率的变化就反映了输入角速率的变化。;微型压力传感器;硅梁振动信号的激励与拾取采用电磁方式，永磁铁的磁场和通过激励线圈A的交变电源共同???发硅梁在基频上振动，并由拾振线圈B感应，送人自动增益控制放大器(AGC)，一方面输出频率，另一方面将交流电流信号反馈给激振线圈A，从而形成正反馈闭环自激系统，以维持谐振梁的连续等幅振动。;微型电场传感器;工作原理：激振电极对连接交流电压源，通过两个电极间的库仑力作用引起振动膜垂直振动。调节交流电压频率，使振动膜在谐振点附近达到预定的振幅。此时感应电极接受经过屏蔽电极周期性屏蔽的电场，产生感应电流，经前置放大后接外部检测电路。 优点：弥补了一般电场传感器体积大、能耗高的缺点。;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;（1）微处理器系统的设计;（2）信号调理电路的设计;（3）A/D、D/A的设计;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器; 非线性特征的校正;曲线拟合发校正;分段线性化与线性插值; 误差的自动校准及自诊断; 数字滤波;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.３ 传感器智能化技术与智能式传感器;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;机器人六维腕力传感器;机器人六维腕力传感器;机器人六维腕力传感器;机器人六维腕力传感器;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器人传感及临场感技术;§12.4 机器