GB/T 26069-2022硅单晶退火片.pdf

ICS29.045 CCSH 82 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT26069 2022 代替 / — GBT26069 2010 硅 单 晶 退 火 片 Annealedmonocrstallinesiliconwafers y 2022-03-09发布 2022-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT26069 2022 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 / — 《 》, / — , 本文件代替 GBT26069 2010硅退火片规范 与 GBT26069 2010相比 除结构调整和编辑 , : 性改动外 主要技术变化如下 ) “ ” 、 、 、 、 , a 范围 一章增加了包装 标志 运输 贮存 随行文件及订货单等内容 更改了硅单晶退火片的 ( , ); 适用范围 见第 章 年版的第 章 1 2010 1 ) “ ”“ ” ( ); 增加了术语 退火片 技术代 及其定义 见第 章 b 3 ) 、 、 ( 增加了 和 集成电路线宽所需的硅单晶退火片的技术规格 见第 c 65nm 45nm 32nm 22nm 4 章); ) 增加了退火片的基本要求应符合 / 、 / 、 / 、 / 的要 d GBT12962GBT29504GBT12965GBT29508 ( ); 求 见 5.1 )