GB/T 24581-2022硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测定　低温傅立叶变换红外光谱法.pdf

ICS77.040 CCSH 17 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT24581 2022 代替 / — GBT24581 2009 硅单晶中 、 族杂质含量的测定 Ⅲ Ⅴ 低温傅立叶变换红外光谱法 TestmethodforⅢandⅤim uritiescontentinsinlecrstalsilicon— p g y Lowtem eratureFT-IRanalsismethod p y 2022-03-09发布 2022-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT24581 2022 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 本文件代替 / — 《低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中 、 族杂质含量的测 GBT24581 2009 Ⅲ Ⅴ 》, / — , , : 试方法 与GBT24581 2009相比 除结构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下 ) “ ”( ); 删除了 目的 见 年版的第 章 a 2009 1 ) ()、 ()、 ( )、 ( )、 ( )、 ( ) , ( ) b 更改了硼 B 磷 P 砷 As 铝 Al 锑 Sb 镓 Ga的测定范围 并增加了铟 In含量的测 ( , ); 定 见第 章 年版的第 章 1 2009 2 ) ( , ); 更改了术语和定义 见第 章 年版的第 章 c 3 2009 5 )