在线网课学习课堂《微电子工艺(哈尔滨工业大学)》单元测试考核答案.docx

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注:不含主观题 绪论 第一单元 硅衬底制备 第二单元 氧化与扩散 第三单元 薄膜制备 第1题 单选题 (1分) 单选:芯片制造工艺是指: A 由“硅片”到“集成电路结构晶圆”之间的工艺步骤 B 由“硅锭”到“集成电路合格品”之间的工艺步骤 C 由“硅片”到“集成电路合格品”之间的工艺步骤 D 由“硅锭”到“集成电路结构晶圆”之间的工艺步骤 2、微电子工艺的发展历程如何?--作业  第1题 多选题 (2分) 硅平面工艺主要指的是那几个单项工艺? A 氧化、扩散 B 芯片性能测试 C 光刻 D 淀积Al膜 正确答案: ACD 3、微电子工艺有什么特点?--作

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