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注:不含主观题
绪论
第一单元 硅衬底制备
第二单元 氧化与扩散
第三单元 薄膜制备
第1题
单选题
(1分)
单选:芯片制造工艺是指:
A
由“硅片”到“集成电路结构晶圆”之间的工艺步骤
B
由“硅锭”到“集成电路合格品”之间的工艺步骤
C
由“硅片”到“集成电路合格品”之间的工艺步骤
D
由“硅锭”到“集成电路结构晶圆”之间的工艺步骤
2、微电子工艺的发展历程如何?--作业
第1题
多选题
(2分)
硅平面工艺主要指的是那几个单项工艺?
A
氧化、扩散
B
芯片性能测试
C
光刻
D
淀积Al膜
正确答案: ACD
3、微电子工艺有什么特点?--作
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