GB/T 40577-2021集成电路制造设备术语.pdf

ICS31.220 CCSL95 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT40577 2021 集成电路制造设备术语 ( ) Terminolo forinteratedcircuitIC manufacturin euiment gy g gq p 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT40577 2021 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 基础术语 ………………………………………………………………………………………………… 1 4 晶体生长加工设备 ……………………………………………………………………………………… 2 5 掩模制造设备 …………………………………………………………………………………………… 5 6 光刻与刻蚀设备 ………………………………………………………………………………………… 8 7 掺杂设备………………………………………………………………………………………………… 15 8 薄膜淀积设备…………………………………………………………………………………………… 17 9 清洗设备………………………………………………………………………………………………… 23 10 封装设备 ……………………………………………………………………………………………… 24 11 检测设备 ……………………………………………………………………………………………… 27 12 公用部件 ……………………………………………………………………………………………… 34 参考文献 …………………………………………………………………………………………………… 37 索引 ………………………………………………………………………………………………………… 38 Ⅰ / — GBT40577 2021 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第