GB/T 40110-2021表面化学分析　全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染.pdf

ICS71.040.40 CCSG04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT40110 2021ISO147062014 表面化学分析 全反射 射线荧光光谱法( ) X TXRF 测定硅片表面元素污染 — Surfacechemicalanalsis Determinationofsurface y elementalcontaminationonsiliconwafersb total-reflection y ( ) X-ra fluorescenceTXRF sectrosco y p py ( : , ) ISO147062014IDT 2021-05-21发布 2021-12-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT40110 2021ISO147062014 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 缩略语 …………………………………………………………………………………………………… 2 5 原理 ……………………………………………………………………………………………………… 2 6 仪器设备 ………………………………………………………………………………………………… 2 7 试样制备及其测量环境 ………………………………………………………………………………… 2 8 校准参考物质 …………………………………………………………………………………………… 3 9 安全性 …………………………………………………………………………………………………… 3 10 测量程序………………………………………………………………………………………………… 3 11 结果表达………………………………………………………………………………………………… 4 12 精密度…………………………………………………………………………………………………… 5 13 测