GB/T 41064-2021表面化学分析　深度剖析　用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法.pdf

ICS71.040.40 CCSG04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT41064 2021ISO171092015 表面化学分析 深度剖析 用单层和 、 多层薄膜测定 射线光电子能谱 俄歇 X 电子能谱和二次离子质谱中深度剖析 溅射速率的方法 — — Surfacechemicalanalsis Deth rofilin Methodforsutterrate y p p g p , determinationinX-ra hotoelectronsectrosco Auerelectronsectrosco yp p py g p py andsecondar-ionmasssectrometrsutterdeth rofilin usin sinleand y p yp p p g g g multi-laerthinfilms y ( : , ) ISO171092015IDT 2021-12-31发布 2022-07-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — / : GBT41064 2021ISO171092015 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 单层和多层薄膜参考物质的要求 ……………………………………………………………………… 1 5 溅射速率的确定 ………………………………………………………………………………………… 2 ( ) …………………………………………………………………… 附录 资料性 国际比对实验报告 A