10PECVD生产操作规程幻灯.pptxVIP

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2021-08-26 发布于河北
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10PECVD生产操作规程幻灯.pptx

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PECVD生产操作规程;1 安全警告;2 安全与标识; ;3 开机;3.1 开总电源; ;3.2 启动计算机;3.3 检查冷却水; ;3.4 检查气源;3.5 启动“system”程序;4 选择工艺单、生产;4.1 开真空泵，预加热;4.2 启动指定工艺;4.3 检查工艺运行情况;4.4 传动状态测试;4.5 进行工艺调试，生产;5 停机;5.1 停止工艺运行;5.2 关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫;5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2;5.4 退出控制程序，关主电源;5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水;? ? ;8/24/2021;? Figure 10: Process chamber ; ;8/24/2021;8/24/2021;8/24/2021;8/24/2021;8/24/2021;8/24/2021;8/24/2021;; PECVD生产操作规程;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。8月-218月-21Tuesday, August 24, 2021 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。09:43:1409:43:1409:438/24/2021 9:43:14 AM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。8月-2109:43:1409:43Aug-2124-Aug-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。09:43:1409:43:1409:43Tuesday, August 24, 2021 13、志不立，天下无可成之事。8月-218月-2109:43:1409:43:14August 24, 2021 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。24 八月 20219:43:14 上午09:43:148月-21 15、会当凌绝顶，一览众山小。八月 219:43 上午8月-2109:43August 24, 2021 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2021/8/24 9:43:1409:43:1424 August 2021 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。9:43:14 上午9:43 上午09:43:148月-21