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2021年超净实验室实验报告 2021年超净实验室实验报告 PAGE / NUMPAGES 2021年超净实验室实验报告 实 验 报 告 （ / 年 第 二 学期） 课程名称 《超净工作实习》 试验名称 超净工作实习 试验时间 /第二学期（9-10周） 指导单位 材料科学与工程学院 指导老师 王义成 学生姓名 戴祥祥 班级学号 学院(系) 材料科学与工程学院 专 业 材料物理 超净试验室介绍 一．超净试验室定义 在国际标准化组织ISO中超净试验室被定义为: 一个空气中微粒浓度被控制、 被建设用于降低房间内微粒引进、 产生和滞留, 且其她相关参数如温度、 湿度、 压力必需时也被控制试验室。 二．超净试验室用途 工业 产品 电子工业 电脑, 平面显示器 半导体 用于计算机存放器和控制器集成电路 光学器件 柔性焦距透镜组, 激光设备 生物技术 抗生素生产, 遗传工程 制药业 无菌药品, 无菌一次性用具 医疗设备 心脏瓣膜, 心脏旁路系统 食物和饮料 啤酒生产 从上面表格中能够看出, 超净试验室应用能够大致分为两类: 三．超净试验室发展史 早期（只在医院里有超净室, 极少有通风 设备）——含有通风设备用于手术超净室——早期供工业用超净室——均匀流型超净室 超净试验室设计标准 一．设计超净试验室三个经典条件 1、 当建立了超净试验室并安装好各个仪器; 2、 当全部设备安装好并能够运行而且不受人为原因干扰 3、 当超净试验室可操控并设备能够运行, 人员在工作。 二．设计方针 晶片生产设备建造和运转费用非常高, 两年内就能够被替换, 寿命最多就五年。所以头两年必需产生足够利润去抵消建造和运转成本, 不然成功概率非常小, 所以必需坚定地控制建造和运转费用。 ISO超净试验室设计标准应用于通常洁净室设施, 它之所以有价值,是因为它不是特定工艺标准,多种优质地方使用。 空中悬浮微粒清洁程度分类; 生物污染 计量及测试方法 设计、 施工和开启 超净试验室运行 条件,定义和单位 增强清洁设备 分子污染 三．布局 图3.1超净室设计已经流行数年 a.舞厅式b.管槽式c.微环境室 a.舞厅式b.管槽式c.微环境室 四．空气循环系统 图3.8是经典空气流动系统, 它用来实现对穿过地板高效空气过滤器空气再循环。 经典再循环空气移动系统有以下特征和要求 风扇类型（发动机在空气流缓外部）; 风扇结构放在含有分离基础设备薄片制造区域外围; 发动机和风扇要远离薄片制造区域; 因为空气通道打, 这要求消声处理设计 冷线圈要在风扇逆方向。 五．监控和报警系统 监控和警报系统在晶片生产中拥有很高优先级, 所以其设计也是相当关键。设计者要考虑一下几点: 1.液体, 工业气体, 环境气体纯净度和实际条件 2.人员安全、 车间和工艺设备 3.产品产量和质量 4.对于废水毒性或声誉小区关系 5.政府机构要求控制、 计量和汇报 6.设施和公用工程系统工作特征条件和安全。 空气净化 一．高效空气过滤 供给到洁净室里面空气必需优异行过滤, 这是为了确保去除空气中颗粒和微生物, 以预防它们妨害在洁净室里面试验。 直到二十世纪八十年代初, 当初洁净室里面最高效空气过滤器是HEPA过滤器, 亦称高效空气净化器, 它对空气中直径0.3微米微粒能够有最少99.97%过滤效率。现今, 仍然有很多洁净室在使用HEPA。 二、 高效过滤器结构 高效过滤器通常有两种结构, 深褶式过滤器和迷你褶式过滤器。 深褶式过滤器含有比较传统过滤器结构: 在其中, 滤纸像折扇一样并排折叠起来, 每个折叠部分相距15cm到30cm之间（6-12英寸）。 结构如右图: 过滤介质 放置铝箔隔离板 为了确保空气经过过滤纸以及加强过滤器强度, 在过滤纸之间会放置皱褶铝箔作为隔离板（前页红箭头）。以后隔离板与滤纸结合过滤装置就会用密封剂粘合到塑料、 木材或者是金属外框中, 过滤器整体如图: 外框 密封胶 密封衬垫 迷你褶式过滤器大都用在单向流洁