大宗气体及特殊气体.docVIP

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2021-07-17 发布于未知
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大宗气体及特殊气体.doc

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PAGE PAGE 2 / NUMPAGES 4/ GAS 系统基础知识概述 HOOK-UP专业认知厂务系统HOOKUP定义 HOOKUP乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台达到预期的功能。HOOKUP是将厂务提供的UTILITIES(如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点(PORTORSTICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备(SUBUNITS)。机台使用这些UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或废水废气处理系统。H