高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏测量关键技术与纳米测量应用.pdfVIP

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2021-07-07 发布于浙江
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高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏测量关键技术与纳米测量应用.pdf

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科技成果登记表（应用技术类成果）一、成果概况 1．成果名称高精度宽光谱穆勒矩阵椭偏测量关键技术与纳米测量应用 2 ．关键词 ①宽光谱 ②椭偏仪 ③穆勒 3．成果类别应用技术 4．成果体现形式新装备原始性创 5．成果属性 6．成果所处阶段成熟应用阶段新 7 ．成果水平国际先进 8．转让范围不转让与企业合 9 ．研究形式 10．所属高新技术领域光机电一体化作 11.主要应用行业制造业 12．学科分类 ①460.40 ②430.99 13．中图分类 ①TH744 ②TB383.1 14.研究起始日期 2006-09 15.研究终止日期 2018-12 16.批准登记日期 2019-04-17 二、立项情况 1.课题来源部门计划 2.国家科技计划子类别 3 ．课题立项名称 4.课题立项编号 2011YQ160002 5 ．经费实际投入额（万 3979. 元）三、评价情况 1.评价方式鉴定 2.评价单位中国计量测试学会 3.评价日期 2019-04-13 4.评价报告编号量学鉴字[2019]第 3 号 5.评价委员会名单四、知识产权状况专利号： US9103667; 专利名 Alignmentmethodforopticalaxesofcompositewaveplate;专利专利;专利类型：发明专利专利号： US9070091; 专利名 Methodforextractingcriticaldimensionofsemiconductornano 专利状况：已授权专利;专利类型：发明专利专利号：ZL201310040729.7;专利名称：一种透射式全穆勒矩阵及其测量方法;专利状况：已授权专利;专利类型：发明专利专利号：ZL201310040730.X;专利名称：旋转器件型光谱椭偏仪 1.知识产权形式发明专利 2.专利状况准方法;专利状况：已授权专利;专利类型：发明专利