GB/T 39516-2020微纳米标准样板(几何量).pdf

ICS17.040.30 J42 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT39516 2020 ( ) 微纳米标准样板 几何量 ( ) Micronanostandardsam les eometric p g 2020-11-19发布 2021-06-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT39516 2020 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 型式与基本参数 ………………………………………………………………………………………… 3 4.1 型式 ………………………………………………………………………………………………… 3 4.2 基本参数 …………………………………………………………………………………………… 4 5 要求 ……………………………………………………………………………………………………… 5 5.1 外观 ………………………………………………………………………………………………… 5 5.2 性能参数要求 ……………………………………………………………………………………… 5 6 检查条件 ………………………………………………………………………………………………… 7 7 检查方法 ………………………………………………………………………………………………… 7 7.1 外观 ………………………………………………………………………………………………… 7 7.2 微纳米线间隔标准样板的性能参数 ……………………………………………………………… 7 7.3 微纳米台阶高度标准样板的性能参数 …………………………………………………………… 10 7.4 纳米膜厚标准样板的性能参数 …………………………………………………………………… 12 7.5 纳米线宽标准样板的性能参数 …………………………………………………………………… 14 、 ……………………………………………………………………………………… 8 标志 运输及储存 15 8.1 标志 ………………………………………………………………………………………………… 15 8.2 运输 ………………………………………………………………………………………………… 16 8.3 储存 ………………………………………………………………………………………………… 16 8.4 产品合格证 ……………………………