GB/T 39163-2020靶材与背板结合强度测试方法.pdf

ICS19.060 H22 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT39163 2020 靶材与背板结合强度测试方法 Testmethodsofthebondin strenthfortaret-backin lateassemblies g g g gp 2020-11-19发布 2021-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT39163 2020 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准由中国有色金属工业协会提出。 ( / ) 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会 SACTC243归口 : 、 、 本标准起草单位 有研亿金新材料有限公司 有色金属技术经济研究院 宁波江丰电子材料股份有 、 、 。 限公司 山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司 贵研铂业股份有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 丁照崇 陈明 赵永善 熊晓东 贺昕 林若虚 李勇军 张晓娜 曹欢欢 王云能 、 、 、 、 。 袁海军 李利利 曹晓萌 张静 王传军 Ⅰ / — GBT39163 2020 靶材与背板结合强度测试方法 1 范围 本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。 本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 : ( 、 、 )、 、 、 、 注 靶材与背板结合方式包括钎焊 传统焊料 导电银胶 纳米箔焊接等 扩散焊 电子束或激光焊 爆炸焊 摩擦 、 、 、 。 焊 机械复合 冷喷涂 热喷涂等 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。