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多晶硅生产工艺和反应原理第一节多晶硅的基础知识多晶硅的基础知识重要的半导体材料化学元素符号电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机械等性能硅是产量最大应用最广的半导体材料它的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平在研究和生产中硅材料与硅器件相互促进在第二次世界大战中开始用硅制作雷达的高频晶体检波器所用的硅纯度很低又非单晶体年制出第一只硅晶体管提高了人们制备优质硅单晶的兴趣年用直拉法培育硅单晶成功年又研究出无坩埚区域熔化法既可进行物理提纯又能拉制单晶年开始采用锌还原四氯化硅法生产纯硅但不能满
多晶硅生产工艺和反应原理 第一节多晶硅的基础知识 多晶硅的基础知识重要的半导体材料， 化学元素符号 Si，电子工业上使用的硅应 具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它 的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。 在研究和生产中，硅材料与硅器件相互促进。在第二次世界大战中，开始用硅制 作雷达的高频晶体检波器。所用的硅纯度很低又非单晶体。 1950 年制出第一只硅晶 体管，提高了人们制备优质硅单晶的兴趣。 1952 年用直拉法 (CZ) 培育硅单晶成功。 1953 年又研究出无坩埚区域熔化法 (FZ) ，既可进行物理提纯又能拉制单晶。 1955 年 开始采用锌还
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