GB/T 4058-2009硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法.pdf

犐犆犛２９．０４５ 犎 ８０ 中华人民共和国国家标准 ／ — 犌犅犜４０５８ ２００９ 代替 ／ —１９９５ ＧＢＴ４０５８ 硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉犱犲狋犲犮狋犻狅狀狅犳狅狓犻犱犪狋犻狅狀犻狀犱狌犮犲犱犱犲犳犲犮狋狊犻狀 狅犾犻狊犺犲犱狊犻犾犻犮狅狀狑犪犳犲狉狊 狆 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 ２００９１０３０发布 ２０１００６０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜４０５８ ２００９ 前 言 　　 本标准代替 ／ — 《硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法》。 ＧＢＴ４０５８ １９９５ 　　 本标准与 ／ — 相比，主要有如下变化： ＧＢＴ４０５８ １９９５ ———范围中增加了硅单晶氧化诱生缺陷的检验； ———增加了引用标准； ———增加了“术语和定义”章； ———将原标准中“表 四种常用化学抛光液配方”删除，在第 章中对化学抛光液配比进行了修 １ ５ 　 改，删除了乙酸配方；增加了铬酸溶液 的配制、 腐蚀液及 腐蚀液的配制；增加了 Ａ Ｓｉｒｔｌ Ｗｒｉｈｔ ｇ 几种国际上常用的无铬、含铬腐蚀溶液的配方、应用及适用性的分类对比表； ———采用氧化程序替代原标准中的氧化的操作步骤；增加了（ ）面缺陷的显示方法及 腐 １１１ Ｗｒｉｈｔ ｇ 蚀液的腐蚀时间，将（ ）面和（ ）面缺陷显示方法区分开了；（ ）面缺陷的显示增加了 １１１ １００ １００ Ｗｒｉｈｔ腐蚀液腐蚀方法； ｇ ———在缺陷观测的测点选取中增加了“米”字型测量方法。 本标准的附录 为资料性附录。