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晶体硅太阳能电池生产线 清洗制绒工序培训 王大男 光伏电池评测中心 目录 目录 1、清洗制绒的作用及方法; 2、清洗制绒的工艺设备及操作流程; 3、主要检测项目及标准; 4、常见问题及解决方法; 5、未来工艺的发展方向; confidential confidential 1、清洗制绒的作用及方法 1、清洗制绒的作用及方法 太阳电池生产流程: 硅片 清洗制绒 扩散 刻蚀 去PSG PECVD 印刷 烧结 电池 硅片 清洗制绒 扩散 刻蚀 去PSG PECVD 印刷 烧结 电池 硅片生产线 电池生产线 组件生产线 清洗制绒作为太阳电池生产中的第一道工序,其主要作用有两个: 1)祛除硅片表面的杂质损伤层:损伤层是在硅片切割过程中形成的表面 (10微米左右)晶格畸变,具有较高的表面复合。 2 )形成陷光绒面结构:光线照射在硅片表面通过多次折射,达到减少反射 率的目的。 损伤层 confidential confidential 1、清洗制绒的作用及方法 1、清洗制绒的作用及方法 绒面制作方法: 目前,晶体硅太阳电池的绒面一般的是通过化学腐蚀的方法制作完成,针对不同 的硅片类型,有两种不同的化学液体系: 1)单晶硅绒面制作: Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ 此反应为各向异性反应,也是形成金 字塔绒面的原因 2 )多晶硅绒面制作: 单晶硅绒面 3Si+4HNO3 →3SiO2+4NO+2H2O SiO2+4HF→SiF4+2H2O SiF4 +4HF→H2SiF6 此反应为各向同性反应,形成蠕虫状 绒面 多晶硅绒面 confidential confidential 1、清洗制绒的作用及方法 1、清洗制绒的作用及方法 绒面反射率: 0.7 0.6 0.5 e c n 0.4 a t c e l f 0.3 e R 0.2 0.1
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