YS/T 1123-2016铂蒸发料.pdf

ICS77.150.99 H 68 中华人民共和国有色金属行业标准 — YST1123 2016 铂 蒸 发 料 Evaorated latinummaterial p p ㅤㅤㅤㅤ 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 YS — T1123 2016 铂 蒸 发 料 1 范围 、 、 、 、 、 、 、 本标准规定了铂蒸发料的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书及订货单 ( ) 。 或合同 内容 本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其必威体育精装版版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / — 海绵铂 GBT1419 2004 / : ( ) 计数抽样检验程序 第 部分 按接收质量限 检索的逐批检验抽样计划 GBT2828.1 1 AQL / — 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 GBT15077 2008 3 要求 ㅤㅤㅤㅤ 3.1 产品分类 产品按照化学成分分为 、 两个牌号。 3.1.1 IC-Pt99.95IC-Pt99.99 、 , 。 、 , 产品主要分为片状 柱状 如图 所示 产品形状 定义及供货状态应符合表 的要求 需方有 3.1.2 1 1 其他要求时由供需双方协商解决。 说明: ———长度; ———长度; A L