《等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程》-毕业论文（设计）.docVIP

等离子增强化学气相沉积（PECVD）的工艺流程 PAGE PAGE 2 毕业设计（论文） （ 2012 届） 题 目等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程 学 号 0903010033 姓 名 所 属 系 新能源科学与工程学院 专 业 材料工程技术 班 级 09材料工程技术班 指导教师 新余学院教务处 目 录 TOC \o 1-2 \h \z \u 摘要 2 Abstract 2 第1章 PECVD的概述 3 1.1 PECVD的发展 3 1.2 PECVD的工作原理 4 1.3 PECVD设备的主要作用 4 1.4 PECVD的优点 7 1.5 PECVD的特点 7 第2章 PECVD的结构组成，主要的性能指标参数 8 2.1 PECVD的组成结构 8 2.2 PECVD的主要性能指标参数 9 第3章 PECVD的设备安装，调试 11 3.1 PECVD设备的安装和调试工作 11 3.2 设备调试前的检查工作 12 3.3 设备的调试 12 第4章 PECVD的工艺 15 4.1 工艺过程 15 4.2 原材料及注意事项 15 4.3 工艺操作规范 16 4.4 安全 16 4.5 PECVD设备的故障分析 17 4.6 PECVD的维护保养 18 4.7 PECVD工艺流程中主要参与的化学方程式 19 4.8 PECVD中的应力控制 20 第5章 PECVD的未来与展望 21 参考文献 22 致 谢 23 等离子增强化学气相沉积的工艺流程 摘要 随着太阳能利用的日益广泛光电转换将越来越受到人们的关注。在太阳能电池片的生产过程中，与很多因素有至关重要的关系，PECVD是其中的关键技术之一是影响着太阳电池质量的一个重要因素，PECVD是其中不可或缺的重要组成部分。文章着重讨论PECVD的工艺流程，原理，应用，结构，制备，保养，注意事项和PECVD的未来发展。 关键词：太阳电池；PECVD；氮化硅；SiNx；反射率；减反射率；薄膜 Plasma enhanced chemical vapor deposition process Abstract With the increasingly wide utilization of solar energy photoelectric conversion will be more and more peoples attention. The solar battery plate production process, and many factors have important relations, PECVD is one of the key technologies of solar cells is an important factor in the quality, PECVD is one of the indispensable important component. This article discusses the PECVD technological process, principle, application, structure, preparation, maintenance, matters needing attention and the future of PECVD development. Keywords: Solar Cell;PECVD;Silicon Nitride;SiNx;Reflectivity;Reducing Reflectivity;Thin film 第1章 PECVD的概述 1.1 PECVD的发展 随着环境的日益恶化以及资源逐渐的匮乏，人类正在寻找环保的,取之不尽用之不竭的新型能源。根据科学家们的研究表明，太阳能是使用起来最为清洁，资源充足的新型能源之一。就目前的发电技术而言，在我郭使用最为广泛的就是火力发电和风力发电，但是它们在发电过