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32 10 Vol.32 No. 10 2003 10 ACTA PHOTONICA SINICA October 2003 * 1 1 2 1 1 3 张向东 李育林 彭文达 洪新华 王卫平 翠琴 ( 1 , 710068) (2 , 518060) ( 3 , 710025) 针对目前温湿度测量过程中电量传感器长期稳定性和互换性差的不足, 以光纤光栅为基 础, 以改性PI 薄膜为湿敏涂层,研制出了一种新型非电量温湿度传感器详细阐述了其测量原理 制作工艺及其主要参量的优化确定, 对其测量范围测量精度湿滞特性等主要特征参量进行了试 验测定测试结果表明: 该传感器可在20~ 80 10%~ 90% 测量范围内实现精度为 0. 2 和 5%的实时测量, 且具有响应时间短( 15 s) 和长期稳定性好等优点 温湿度测量; 光纤布喇格光栅; 传感器 TN253 A FB T , 0 2 , B1 B2 B1 B2 B1 B2 , , , , , , 图1 光纤光栅型温湿度传感器结构 Fig. 1 Structure of the FB temperature and relative humidity , ; ,FB Bi ( i = [ 4] 12) [1,2] , = 2n ( 1) Bi eff i n FB ; ( i = 12) FB eff i , , ( 1) [3] Bi neff i (PI) ( FB ) , Bi = neff + i ( 2) ,PI ( 2) H T , ; H FB FB , 1 1
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