TELte5000氧化矽干蚀刻机标准制程步骤.docVIP

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TCP 9600SE金屬乾蝕刻機標準製程 Standard Process Typical Structure: 0.35um Technology;0.7um Pitch;0.35um Space/Line;Aspect Ratio 6:1 Al ER 100~110A/sec TiN ER 50~55A/sec SiO2 ER 50A/sec

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