半导体行业挥发性有机物_VOCs_排放特征研究.pdfVIP

第 32 卷第 10 期 环境科学与管理 Vol32 No10 2007 年 10 月 ENV IRO NM ENTAL SC IENCE AND M ANA GEM ENT Oct. 2007 文章编号 : 1673 - 1212 (2007) 10 - 0037 - 05 ( ) 半导体行业挥发性有机物 VOC s 排放特征研究 1 1 2 1 1 1 1 徐捷 ,魏海萍 ,修光利 ,伏晴艳 ,吴迓名 ,李炎 ,王歆文 ( 1. 上海市环境监测中心 ,上海 , 200030; 2. 华东理工大学 ,上海 200237) 摘 　要 :采用工艺调查与现场监测相结合的方法 ,研究了半导体行业废气排放中 VOC s的种类和排放水平 。结 果表明 ,共检测出 26种有机物 ,其中以异丙醇排放量最大 。采用排放系数法估算了该行业 VOC s2004年的排放 量和 20 10年的预期排放量 ,并提出了加强和完善排放标准控制以及清洁生产等控制措施的建议 。 ( ) 关键词 :挥发性有机物 VOC s ;半导体制造 ;排放速率 中图分类号 : X515 文献标识码 : B Study on the Em ission of Vo latile O rgan ic Compound s (VOC s) from Sem iconductor M anufacture Indu stry 1 1 2 1 1 1 1 Xu J ie , W ei H aip ing , X iu Guangli , Fu Q ingyan , W u Yam ing , L i Yan , W ang X inwen ( 1. Shanghai Environm ent Mon itoring Centre, Shanghai 200030, Ch ina; 2. East Ch ina Un iversity of Science Technology, Shanghai 200237 , Ch ina) A b stract:Comb in ing p roce ss inve stigation w ith field mon itoring, the con stitutes and concentration level of VOC s relea sed from typ ical sem iconductor m anufacture factories in Shanghai were studied in th is p ap er. R e su lts indicated that 26 volatile organ ic compound s were ob served and the em ission rate of IPA ( isop ropyl alcoho l) wa s the large st. The em ission amounts of VOC s in 2004 and anticip ative em ission amount