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Kulicke Soffa KS Maxµm plus 參數手冊 MAXµm 基本製程參數指導 客戶版 庫力索法股份有限公司 台灣教育訓練 1 薛健熙 編譯 / 蘇釗弘 修訂 9-28-2-32b Kulicke Soffa KS Maxµm plus 參數手冊 注意: 適當的 DOE 專業知識及瞭解可以提供這份說 明中所列舉出的全部參數的實際定義,以及參 數之間的相互作用。 •這份說明文件只是用來提供參數定義的導引並且 只是適用於客戶端來使用。 •參數的舉列是依據軟體版本 9-28-2-32B 。 •線弧參數是根據 Original Loop 來進行列舉與說 明,有關其他的線弧種類,請洽詢 KS 各地區 客服部門技術人員。 庫力索法股份有限公司 台灣教育訓練 2 薛健熙 編譯 / 蘇釗弘 修訂 9-28-2-32b Kulicke Soffa KS Maxµm plus 參數手冊 第一銲黏參數 (Bond 1) 1. TIP HEIGHT (mils) (Min 0, Max 25) 銲針的轉折交互點。這是一個可設定在銲線頭從一個高加速度的狀態轉換到一個固定速度時,銲針 距離銲黏平面的高度位置。考量到銲黏時的晶片厚度的變化差異以及引線基板的厚度而言,這個高 度對於銲線頭而言將是一個安全的高度。(參考圖 1 ) 庫力索法股份有限公司 台灣教育訓練 3 薛健熙 編譯 / 蘇釗弘 修訂 9-28-2-32b Kulicke Soffa KS Maxµm plus 參數手冊 建議的設定值是: TIP 1 = 5 mils (125µm) TIP 2 = 5 mils (125µm) Z -pos ition T IP CV st nd st 備註: Tip 1 是針對 1 Bond ,Tip 2 是針對 2 Bond ,假如是用在SSB 的線弧製程時,1 Bond Tip 是定義植球時的速度轉折高度(Bump Tip ),2nd Bond Tip 對於植球(Bump )而言是相同的。 2. C/V (mils/ms) (Min 0.05, Max 3.0) 這是銲線頭從轉折高度下降到銲黏接觸表面時的行進固定速度,它的設定單位是 mils/ms 。假如有 使用適當的轉折高度設定的話,則定速度將負責產生一個初始衝擊壓力。如同應用指導說明,定速 度的設定值是依據金球初始擠壓的程度大小比例來進行設定的。(亦即較高的定速度設定是用在較 大的金球而較低的定速度設定是用在較小的金球或是微間距的製程應用,最小的定速度設定值是銲 線頭不會出現假性的接觸偵測為依據。一個假的接觸偵測相對於真的接觸偵測將會產生不同程度的 第一銲黏問題。 針對 C/V 1 的建議設定值請參考Table 1. (這些都只是
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