GB/T 37466-2019氮化镓激光剥离设备.pdf

ICS31-550 L95 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT37466 2019 氮化镓激光剥离设备 Laserlift-offeuimentusedforGaN q p 2019-06-04发布 2019-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT37466 2019 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 产品分类和标记 ………………………………………………………………………………………… 2 4.1 分类 ………………………………………………………………………………………………… 2 4.2 型号标记 …………………………………………………………………………………………… 3 5 工作条件 ………………………………………………………………………………………………… 4 5.1 电源 ………………………………………………………………………………………………… 4 5.2 环境温度 …………………………………………………………………………………………… 4 5.3 相对湿度 …………………………………………………………………………………………… 4 5.4 大气压力 …………………………………………………………………………………………… 4 5.5 洁净室等级 ………………………………………………………………………………………… 4 5.6 电磁干扰 …………………………………………………………………………………………… 4 5.7 地基振动要求 ……………………………………………………………………………………… 4 6 要求 ……………………………………………………………………………………………………… 4 6.1 外观 ………………………………………………………………………………………………… 4 6.2 激光要求 …………………………………………………………………………………………… 4 6.3 扫描台 ……………………………………………………………………………………………… 5 6.4 整机性能 …………………………………………………………………………………………… 5 6.5 电气要求 …………………………………………………………………………………………… 5 6.6 控制装置 …………………………………………………………………………………………… 5 6.7 软件要求 …………………………………………………………………………………………… 6 6.8 电磁兼容 …………………………………………………………………………………………… 6 6.9 噪声 ………………………………………………………………………………………………… 6 6.10 平均无故障时间…………………………………………………………………………………… 6