半导体掺杂浓度测量仪-郭艳光-国立彰化师范大学.pptVIP

2005/09/15 彰化師大物理系/光電科技研究所郭艷光實驗室簡介 彰化師大光電半導體實驗室研究領域與實驗室設備簡介 郭艷光Yen-Kuang Kuo 美國南加州大學電機研究所博士 國立彰化師大物理系暨光電科技研究所教授 兼任彰化師大奈米中心研究發展組組長 電子郵件: ykuo@.tw 網頁: .tw 藍光雷射與光電半導體實驗室 實驗室負責人：郭艷光老師 實驗室成立時間：1998年7月 實驗室成立背景：配合物理系推動之「藍光雷射計畫」，執行氮化銦鎵(InGaN)半導體雷射的元件設計、以及光學量測的研究工作。 實驗室主要的研究能量 本實驗室主要利用光激螢光法與電激螢光法來研究半導體雷射(LD)與發光二極體(LED)等光電半導體材料之光學與電子特性。此外，本實驗室之光學系統亦可量測穿透/吸收/反射光譜與拉曼光譜。 在光電實驗之外，我們也並行從事雷射二極體、發光二極體、與固態雷射的數值模擬與分析，使用的軟體包括LASTIP、PICS3D、APSYS、CASTEP、MATLAB等。 郭艷光實驗室主要軟體資源 LASTIP模擬軟體 (側射型半導體雷射 …) PICS3D模擬軟體 (面射型半導體雷射、DFB雷射、Self-Pulsation雷射 …) APSYS模擬軟體 (OLED、LED、RCLED、太陽能電池、光偵測器、HEMT …) 國科會CASTEP模擬軟體 (半導體能帶結構、光學與材料特性 …) MATLAB模擬軟體 (固態雷射、Passive Q-switching …) 郭艷光實驗室主要硬體設備 光學桌 (2台) 氦氖雷射 (632.8nm紅光光源) 氬離子雷射 (488nm藍光, 514.5nm綠光, 351.1nm紫外線光源) Nd:YAG雷射 (EO Q-switched, 1064/532/355/266 nm) 單色分光儀與鹵素燈寬頻光源 (穿透, 吸收, 反射頻譜測量) 波長選擇器 (Birefringent Filter) 發光二極體(LED/OLED)亮度與I-V特性測量儀 (PC-controlled) 半導體雷射/發光二極體電流源 (PC-controlled current source) 密閉式低溫系統 (10K ~ 325K) 液態氮冷卻電荷耦合器(CCD)光偵測器 (1340×100 Pixels) 鎖相放大器 (Lock-in Amplifier) 光電增倍管 (Photo-Multiplier Tube) 功率計 (Power Meters) (3組) 半導體摻雜濃度測量儀 (ECV, 適用於GaN系統) 快速示波器 (500 MHz Bandwidth, 5 GHz Sampling Rate) 快速光偵測器 (Response time ~ 1 ns) 光激螢光(Photoluminescence)系統簡介 郭艷光實驗室最近研究主題 氮化銦鎵(InGaN) LD/LED/VCSEL AlGaInP/AlGaInAs/InGaAsP/AlGaAs LD/LED/VCSEL InGaAsN/InGaAsNSb LD/VCSEL 有機發光二極體(OLED) 高功率固態雷射(Passive Q-switching) 名 詞 解 說 LD (Laser Diode，雷射二極體，又稱半導體雷射) LED (Light-Emitting Diode，發光二極體) LCD (Liquid Crystal Display，液態晶體顯示器，簡稱液晶顯示器) OLED (Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極體) 什 麼 是 雷 射 ? LASER is the abbreviation of 『Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation』 Taiwan ? 雷射 (取其音) China ? 激光 (取其意) 雷射系統的基本元素 雷射的種類與典型範例 Gas Lasers (氣態雷射) He-Ne Laser, Ar+ Laser, CO2 Laser, N2 Laser, … Liquid Lasers (液態雷射) Organic Dye Lasers, … Solid-State Lasers (固態雷射) Ruby Laser, Nd:YAG Laser, Nd:Glass Laser, … Semiconductor Lasers (半導體雷射) AlGaAs, InGaAsP, AlGaInP, InGaN, InGaAsN, … Other Lasers (其他雷射) Chemical Laser, Free-Electron Laser, … Al