GB/T 32218-2015真空技术　真空系统漏率测试方法.pdf

ICS 23.160 J 78 @B 中华人民共和国国彖标准 GB/T 32218—2015 真空技术真空系统漏率测试方法 Vacuum technology —Test methods for leak rates of vacuum system 2015-12-10 发布 2017-01-01 实施 GB/T 32218—2015 目 次 前言 m i范围 1 2规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4测试原理 1 4.1氮质谱法真空系统漏率测试原理 1 4.2静态升压法真空系统漏率测试原理 2 5仪器与设备 2 5.1 检漏仪和检漏系统 2 5.2 标准漏孑L 2 5.3 真空计 2 5.4氮罩 2 5.5 累积阀 2 5.6 测试阀 2 6 测试条件 2 6.1测试场地的环境要求 2 6.2 氮气 3 6.3 氮气 3 7测试程序 3 7.1 测试前准备 3 7.2氮质谱法真空系统漏率测试