JCT-179-2011 透明石英玻璃坩埚.pdf

ICS81．040．30 Q35 1--2012 备案号：3441 】C 中华人民共和国建材行业标准 1 179—201 JC／T 代替JC／T 226—1981 179一1981．5C／T 透明石英玻璃坩埚 crucibles Transparent quartz 2011-12-20发布 201 中华人民共和国工业和信息化部发布 JC，r179—-20” 刖 日 本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。 本标准代替JC／T179—198l((QSGl、QSG2透明石英玻璃坩埚》和JC／T 玻璃坩埚》。与JC／T179一1981和JC／T226--1981相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： ——本标准将JC／T179一1981和JC／T226—1981进行合并i ——增加了术语和定义(见第3章)； ——增加了产品分类(见第4章)； 1章)； 一一增加了检验规则(见第7章)； 一一增加了对标志、包装、运输和贮存的要求(见第8章)。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC／TC447)归口。 本标准主要起草单位：中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。 本标准主要起草人：张浩运、吴洁、杨学东、郑丽英。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——JC／T179—1973、JC／T179—1981； ——JC／T226～1981。 JoT179—-20” 透明石英玻璃坩埚 1范围 法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB／T 3284石英玻璃化学成分分析方法 GB／T 5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法 GB／T 10701石英玻璃热稳定性试验方法 JC／T1048--2007单晶硅生长用石英坩埚 3术语和定义 JC／T1048界定的术语和定义适用于本文件。 4分类 透明石英玻璃坩埚分为三类： ——QsGl高纯透明石英玻璃坩埚； 一一qsG2透明石英玻璃坩埚； ——QSG3内涂层高纯透明石英玻璃坩埚。 5技术要求 5．1规格尺寸 5．1．1QSGl、QSG2透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表l的规定。 JC，r仃9—．2011 说明： r一厚度； D一外径： 肝—一底半径 ^—