雷尼绍激光干涉仪系统手册-线性测量MA.pdfVIP

雷尼绍XL激光干涉仪使用手册 线性测量 线性测量步骤 线性测量是最普通的激光测量形式。激光系统通过将轴读数器上显示的位置与激光系统测量的 真实位置相比较，测量线性定位精度和重复性。 本节内容将指导您进行机器线性轴定位精度校准的实践练习。 重要事项—请先阅读安全一节，再继续。 线性测量所需的步骤如下： 设定激光系统进行线性测量。 调整激光光束，使之与机器运动轴准直。 启动自动环境补偿功能，确保在软件中输入正确的材料膨胀系数。 量和记录机器的线性误差。 分析所采集的数据在按您选择的国家或国际标准进行分析之前，先使用“所有数据 图”，检查采集数据的测量误差。在影响线性测量精度的因素一节中，我们对此进行了更深 入的讨论。 规格参数 —给出线性测量精度的全部规格参数。 1 线性测量设定 测量线性位置的典型系统设定如图1所示。选择设定图上的文字标签，获取有关该系统组件的更多 信息。 图1 —测量位置的典型系统设定 “线性测量原理”一节介绍线性光学镜组的工作原理以及应如何设定以进行线性测量。 执行以下步骤，设定激光系统进行线性测量。 如果您尚未完成以上操作，则安装校准软件。 将线性光学镜组连接到要校准的机器上。不同机器配置的典型线性光学设定在线性测量一 节中介绍。 在三角架上安装XL激光头。 用USB 电缆将XL激光头连接到PC机上。将电缆的一端插到XL激光头尾部的USB 插槽中，另一端 插到PC 机上。对XC补偿单元执行相似的操作。 将环境传感器连接到XC补偿单元上。 将XC补偿单元的空气传感器放在机器上或其周围的适当位置上。 将材料温度传感器放在机器的适当位置上。 为安全起见，开始时XL激光头的光闸应转至关闭位置，如下图2所示。 2 图2 -XL 光闸位置-不发出任何光束 连接激光系统的直流电源，然后连接到主电源并开启电源。激光系统将开始预热循环，这大概需要6 分钟。 运行线性数据采集软件。 使激光束与机器的运动轴准直。 线性测量的原理 图1 -线性测量的光学设定 要对线性测量进行设定，使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上。这个 组合装置称为“线性干涉镜”，它形成激光光束的参考光路。线性干涉镜放置在XL激光头和线性反射镜之 间的光路上，如图1所示。分光镜机架上标有两个箭头，指示其方向。箭头应指向两个反射镜，如上图 所示。 3 图2 —测量原理 来自XL激光头的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。一束光（称为参考光束）被引向装 在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过分光镜到达第二个反射镜。然后，两束光都被反 射回分光镜，在此它们重新组合并被导回到激光头，激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。 在线性测